【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.01】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23KT1214
利用課題名 / Title
青波型メタマテリアルの特性とセンサへの応用
利用した実施機関 / Support Institute
京都大学 / Kyoto Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials
キーワード / Keywords
電磁波,分割リング共振器（SRR）,青海波型構造,センサ/ Sensor,メタマテリアル/ Metamaterial,ダイシング/ Dicing,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,3D積層技術/ 3D lamination technology
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
李 相錫
所属名 / Affiliation
鳥取大学 大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
屋良航平,花田龍紀
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
赤松孝義,諫早伸明
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
KT-104：高速マスクレス露光装置
KT-110：レジスト現像装置
KT-111：ウエハスピン洗浄装置
KT-219：ダイシングソー
KT-221：紫外線照射装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
メタマテリアルとは、入射する電磁波の波長よりも十分に小さな金属構造体を周期的に配列することで電磁学的特性を制御することが可能となる人工構造体である。メタマテリアルを構成する構造で最も多く使用されている分割リング共振器（SRR）は “C”の形を基にした構造を使用した研究が多々発表されているが、従来の“C”型SRRではなく、“C”型SRRとは異なる構造(青海波型)を用いて、未だ報告されていない周波数帯での特性を見出す。今回は高抵抗シリコン基板に金で青海波パターンを作製したものをチップ状にダイシングする。測定結果に基づいてセンサへの応用を図る。
実験 / Experimental
高速マスクレス露光装置で高抵抗シリコン基板上に金で青海波パターン(図１)を作製後、ダイシングソーを用いて、4インチ高抵抗シリコン基板を縦横2cmのチップ状×12個にダイシング(図２)した。
結果と考察 / Results and Discussion
ダイシングソーによる個片化後の取り扱い（保護レジスト除去、顕微鏡観察、ケース収納）でピンセット傷がついたチップや欠陥が少しできたが、今後の測定に支障をきたすほどではないため、問題なく作製できたと考えられる。引続き測定、評価を行う。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図１：青海波モデル
図２：１２種類のダイシング結果
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件