利用報告書 / User's Reports


【公開日:2024.07.25】【最終更新日:2024.03.31】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23KT1186

利用課題名 / Title

ナノ粒子を用いた透明な機能性材料およびデバイスの開発

利用した実施機関 / Support Institute

京都大学 / Kyoto Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)計測・分析/Advanced Characterization(副 / Sub)-

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion(副 / Sub)次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials

キーワード / Keywords

赤外線,遮熱膜,太陽電池/ Solar cell,ナノ粒子/ Nanoparticles


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

中川 徹

所属名 / Affiliation

株式会社OPTMASS

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

林 伸彦

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type

(主 / Main)技術代行/Technology Substitution(副 / Sub)-


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

KT-332:触針式段差計(CR)
KT-306:3D測定レーザー顕微鏡


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

機能性材料やデバイスの特性は、ナノ粒子の形状、ナノ粒子膜およびこれに積層した薄膜の表面形状や膜厚に大きく影響を受ける。今回は、遮熱材料として検討しているナノ粒子薄膜の厚みと遮熱性能の相関を調べるための基礎データを得ることを目的とし、様々な厚みを有するナノ粒子薄膜を形成し、これらの膜厚を接触式段差計とレーザー顕微鏡を用いて調べた。

実験 / Experimental

ガラス基板に、様々な厚みを有するITOナノ粒子薄膜、または、CuSナノ粒子薄膜を形成する。その後、ピンセットでガラス中央付近のナノ粒子薄膜を削り取り、その領域を接触式段差計またはレーザ顕微鏡で測定し、膜のある部分と膜の無い部分の段差から膜厚を評価した。

結果と考察 / Results and Discussion

一例として、図1、図2に、接触式段差計で測定しナノ粒子膜の高さプロファイルを示す。図中で、緑色の縦線とオレンジ色の縦線の間の段差から膜厚を評価した。今回測定したデータを用い、デバイス性能と膜厚の相関を調べる予定である。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations


【図1】 ITOナノ粒子薄膜の段差プロファイル 



【図2】CuSナノ粒子膜の段差プロファイル 


その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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