【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.15】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23KT1112
利用課題名 / Title
導波モード共鳴を用いた新規光学デバイスに関する研究２
利用した実施機関 / Support Institute
京都大学 / Kyoto Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials
キーワード / Keywords
石英ガラス基板,光導波路,サブ波長周期構造,ダイシング/ Dicing,フォトニクス/ Photonics
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
井上 純一
所属名 / Affiliation
京都工芸繊維大 大学院工芸科学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
渡邉明理,寺西俊佑
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
大村英治,江崎裕子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術相談/Technical Consultation
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
導波モード共鳴(GMR)フィルタは、透明基板上の導波路にサブ波長周期グレーティングを集積して構成され、空間入射光と導波光の相互作用によって特異な反射・透過特性を示す[1]。本研究では、1 mm×1 mmサイズのガラス基板のGMRフィルタを作製するために、ガラス基板の分割方法を含めたフィルタ作製方法を検討した。
実験 / Experimental
1 mm厚さのSiO2ガラス基板を用いた。以下に実験工程を示す。①基板表面にダイシングテープを貼り付ける。②基板裏面をダイシングソーで格子状にハーフカットする。③UV照射しテープを取り除く。④基板裏面にダイシングテープを貼り付ける。⑤リソグラフィにより基板表面にグレーティングを集積する。本実験ではスピンコートのみを実施した。⑥UV照射の後、カットラインに沿ってピンセットで一片ずつ割り取った。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1に実験工程②まで行った基板の写真を、Fig.2に実験工程⑥まで行い分割した基板の写真を示す。1 mm幅のダイシングブレードを用いた結果1.2 mmのカット幅となった。0.5～0.9 mmのカット深さを試した所、0.9 mmの場合にピンセットによる分割面が最も平滑であった。工程④のテープ貼り付けによって、基板裏面にカットラインがあってもスピンコートのエアチャックが行えた。また、どのカット深さにおいても基板がスピンコート中に不意に分割されることはなく、十分な強度が確保されていることが確認できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 ダイシングソーで格子状にハーフカットしたガラス基板
Fig. 2 ハーフカットラインに沿って分割した1mm×1mmサイズのガラス基板
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
参考文献：[1] R. Magnusson and S. S. Wang, Appl. Phys. Lett. 61 (1992) 1022.
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件