【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.24】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NU0020
利用課題名 / Title
ナノポーラスシリカの電子顕微鏡による観察
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ナノポーラスシリコン,SEM観察,電子顕微鏡/ Electronic microscope,集束イオンビーム/ Focused ion beam,ナノチューブ/ Nanotube,ナノ多孔体/ Nanoporuous material,メソポーラス材料/ Mesoporous material
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
谷口 淳子
所属名 / Affiliation
電気通信大学情報理工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
荒井重勇,依田香保留,中尾知代
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ナノポーラスシリカ試料の形状を電子顕微鏡観察によって明らかにすることを目的とする．概要は，多孔質膜の孔の中に合成したナノポーラスシリカの形状（細孔長さや，多孔質膜の孔とナノポーラスシリカ束との密着度，分布）を，走査電子顕微鏡による観察で明らかにすることである．
実験 / Experimental
一つ目の試料は，透過電子顕微鏡用の試料台（フレームは窒化シリコン，中心部の厚さ200 nmのところはシリコン）で微細加工により多数の直径200 nmの孔が開けられている部分にナノポーラスシリカが合成されている．ナノポーラスシリカが合成されている割合がどの程度かをSEMにより観察した． 二つ目の試料は，直径25 mmの多孔質酸化アルミナ膜（直径100 nm程度，厚さ60 ㎛）で，100 nmの孔の中にナノポーラスシリカが合成されている．試料が厚いため，断面を出してから，FIB-SEM (NX-5000 : NU-105) を用いてナノポーラスシリカの分布を観察した．
結果と考察 / Results and Discussion
一つ目の試料では，ナノポーラスシリカができている割合はおよそ1/3程度であった．合成前の前駆体溶液が，ガイドに用いている直径200 nmの孔から流れ出てしまっていると考えられるため，吸引ろ過の条件を見直す必要がある．二つ目の試料では，アルミナ膜の表面近くでは，ナノポーラスシリカの存在が確認できなかった．一方で，アルミナ膜の下部の端の方で，シリカの質量分布が高かった．その結果，アルミナ膜の下部のみにナノポーラスシリカが局在していることが明らかになった．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 栗原正怜，谷口淳子，鈴木勝，”配向性多孔質膜中4Heの超流動のねじれ振り子による観測”，日本物理学会 第７８回年次大会，2023年9月17日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件