【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UT0363
利用課題名 / Title
SEMによる微細構造物の観察
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
エレクトロデバイス/ Electronic device,電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
玉谷 千恵
所属名 / Affiliation
東京大学 大学院工学系研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-104：低真空走査型電子顕微鏡
UT-101：低損傷走査型分析電子顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
HD-MEA (High-density micro electrode array; 神経細胞の細胞外電位を計測する用の、微小な電極が集積されたCMOS基板）の表面を観察するため、走査型電子顕微鏡を用いた。
①使用済み・未加工のHD-MEA ②使用済み・フォトリソグラフィにより作製したSU-8微細構造物を搭載したHD-MEA（加工条件の異なる2枚） ③電極の凹凸が少ないタイプのHD-MEAの合計4枚の観察と撮影を行った。
試料の真上からと断面の様子を撮影した。
実験 / Experimental
撮影準備として、HD-MEAのリングと観察領域外の基板の除去、オスミウムによる導電性コーティング、試料と試料台のカーボンテープによる通電を行った。構造物の側面形状や電極の凹凸の調査の際は、試料台を50~55°傾けて撮影した。加速電圧は10kVとし、working distanceは試料や傾けた角度により変えながら観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
SU-8微細構造物の側面形状は加工条件によって異なることが分かった。基板に対して直角に壁が形成され、溝がSU-8によって覆われないことが理想であるが、不適切な加工条件では角部分が丸くなったり構造上部が膨張し繋がったりしたことが確認された。また1回の培養により電極上の白金黒の部分的な剥離が起こり、除去しきれなかった細胞の一部が残存したことも確かめられた。電極の凹凸が少ないタイプのHD-MEAの電極は、通常タイプの電極と大きく形状が異なり、平坦な形状を示した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
電極の凹凸が少ないタイプのHD-MEA
HD-MEA上のSU-8微細構造物の断面図
HD-MEA上のSU-8微細構造物の断面図（拡大）
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 玉谷千恵、榛葉健太、小谷潔、神保泰彦、”軸索の伝導特性のメカニズム解明に向けた選択的薬理刺激デバイスの開発”、2024年3月23日、電気学会研究会 医用・生体工学研究会 口頭発表
- 山岸優朔、玉谷千恵、榛葉健太、小谷潔、神保泰彦、”神経機能ユニットの理解に向けた人工微小ネットワーク構築法の開発”、2024年3月6-7日、第33回ライフサポート学会フロンティア講演会 口頭発表
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件