【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.29】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23UT0294

利用課題名 / Title

セラミックスの空隙確認

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion

キーワード / Keywords

セラミックスの空隙分布,電子顕微鏡/ Electronic microscope,セラミックスデバイス/ Ceramic device,集束イオンビーム/ Focused ion beam

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

吉野 晴彦

所属名 / Affiliation

AGC株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

馬場　翔子,相川　京子,原子　進

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

森田　真理

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-152：CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

セラミックスの空隙分布を確認するため、3D-FIB-SEM測定を行う。

実験 / Experimental

分析装置：FIB-SEM　XVsion200TB

結果と考察 / Results and Discussion

FIB加工されたセラミックスの断面SEM観察結果を図に示す。組織に空隙が多数確認された。空隙は一様に存在していると考えられる。横筋はSEM観察時のチャージアップの影響、縦筋は空隙からのFIB加工ひきずりの影響と考えられる。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

　FIB-SEM像

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件