【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.27】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UT0229
利用課題名 / Title
微小領域の構造解析手法の構築
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
複合材料/ Compound materials, 表面・界面/ Surface and Interface,電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
石 恵美子
所属名 / Affiliation
大日本印刷株式会社技術開発センター評価解析第1部第1課
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
木村 鮎美,寺西 亮佑
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-004：環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡
UT-006：ハイスループット電子顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
■目的
無機材料製品についてその作製方法によって、長期耐久性能に違いが生じている。
この性能差は、最表面構造の違いによって引き起こされていると推測している。
そのため、最表面の状態を可視化するために、断面方向よりS/TEM測定を行った。
実験 / Experimental
■実験
無機材料の耐久性良と耐久性悪について、FIBを用いて超薄切片を作製した。
その後、S/TEMを用いて観察を実施した。
結果と考察 / Results and Discussion
■結果
無機材料の耐久性良と耐久性悪について観察を行った結果、最表面構造に違いが確認された。
耐久性良品では最表面に約2nmの被膜が存在していることが確認された。この被膜は約0.12nm前後の格子を有していた。
一方で、耐久性悪品は最表面被膜が存在しておらず、母材の原子構造がむき出しになっていることが確認された。
■考察
金属材料の耐久性の良悪は、最表面に存在している被膜によって性能が左右される可能性があることが確認された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
無機材料の最表面TEM像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
■謝辞
本課題を進めるにあたり、木村様並びに寺西様からは多大なるご指導をいただきました。ここに感謝を申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件