【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.19】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UT0099
利用課題名 / Title
金属上の無機薄膜の構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope,原子層薄膜/ Atomic layer thin film
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
石 恵美子
所属名 / Affiliation
大日本印刷株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
木村 鮎美,寺西 亮佑
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）,機器利用/Equipment Utilization
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-004：環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡
UT-006：ハイスループット電子顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
■目的
無機有機積層体材料について解析を実施した。
この材料は「無機材料層/薄膜/有機層(表層側)」で構成されいる。
無機有機積層材料について劣化加速試験を行うと、密着強度が低下することが判明した。
その原因を特定するために課題申請し、S/TEM解析を行った。
実験 / Experimental
■実験
劣化加速試験前後の無機有機積層体材料について、FIBを用いて超薄切片を作製した。
その後、S/TEMを用いて観察を実施した。
結果と考察 / Results and Discussion
■結果
観察の結果、有機材料並びに薄膜層には変化がなかったが、無機材料層に変化が生じていることが判明した。
■考察
劣化加速試験は無機材料層へ影響を及ぼし、密着強度の低下を引き起こすことが判明した。
劣化加速試験の種類も考慮すると、以下の2種類の劣化メカニズムが考えられる。
①有機材料並びに薄膜層を透過して、無機材料へ変質が発生する。
②劣化加速試験によって有機材料もしくは薄膜層が変質し、その影響によって無機材料の構造が変質した。
また、別途実施した材料構造情報も考慮すると②のメカニズムにより劣化が加速されたと推測する。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図 試験前後
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
■謝辞
本課題を進めるにあたり、木村様並びに寺西様からは多大なるご指導をいただきました。ここに感謝を申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件