【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.19】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UT0096
利用課題名 / Title
圧電材料の粒界周辺の結晶構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions
キーワード / Keywords
アクチュエーター/ Actuator,電子顕微鏡/ Electronic microscope,表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
林 昌弘
所属名 / Affiliation
株式会社リコー
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
寺西亮佑
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
圧電材料であるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛：Pb(Zr,Ti)O3)の物理メカニズムや信頼性は微少領域の結晶欠陥等に大きく影響されると考えられている。圧電材料を用いたデバイスの信頼性の向上のためには欠陥の詳細を把握することが肝要である。本課題では透過型電子顕微鏡を用いて欠陥の観察や組成評価等を行い信頼性との関連を調査したい。
実験 / Experimental
透過型電子顕微鏡JEM-2800を用い、結晶方位を調整後の粒界や欠陥等について高倍観察及びEDSを用いた組成評価を実施した。試料作成は自社で実施し、FIBを用いて、TEM用薄片試料加工を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
電子顕微鏡を用いてPZTを観察し、粒径、粒界の幅、欠陥の大きさなどの情報が得られた。組成分析の結果とも合わせて信頼性に関する知見を深めることができた。また、TEM用薄片試料の形態や加工条件の違いが結果に影響を及ぼす可能性があることがわかった。今後もこれらの影響の検証を行い、圧電特性や信頼性の向上に結びつけたい。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
電子顕微鏡の利用について教授いただいた東京大学寺西亮佑様に深く感謝いたします。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件