【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.16】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23UT0047

利用課題名 / Title

研削・研磨加工後の被加工物表面の解析

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,電子分光/ Electron spectroscopy

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

横尾 晋

所属名 / Affiliation

株式会社ディスコ

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-308：多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)with AES

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

研削・研磨加工後の被加工物の表面状態を解析することにより、最適な研削・研磨加工方法・条件を明らかにする。

実験 / Experimental

研削・研磨の加工方法・条件を変更した試料を作製し、それらの表面状態をX線光電子分光法で解析した。

結果と考察 / Results and Discussion

X線光電子分光法は、試料にX線を入射し、発生した光電子のエネルギーを分光することにより、最表面の組成や化学結合状態について調べることができる手法である。この方法で、研削・研磨加工後の最表面の組成および状態を分析した。その結果、加工条件によって組成比や化学状態が変化することを確認することができた。また、Arスパッタを併用することにより、X線光電子分光法で深さ方向の分析をすることもできる。これにより、加工条件によって最表面だけでなく、深さ方向の組成および状態分析も変化していくことが分かった。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

日頃から装置を管理し、使用マニュアルなども整理して使用者が実験に集中できるように環境を整えて下さっている、X線光電子分光装置の管理者である沖津康平様にこの場を借りて御礼申し上げます。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件