【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UT0045
利用課題名 / Title
無機材料の微細構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
エレクトロデバイス/ Electronic device,電子顕微鏡/ Electronic microscope,ナノチューブ/ Nanotube
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
下山田 篤史
所属名 / Affiliation
株式会社 古河電気工業
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
佐々木 宏和,山崎 悟志
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
押川 浩之
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
CNTはエネルギー分野やエレクトロニクス分野などで応用される材料である。CNTはアルミの半分の密度、銅以上の熱伝導や機械強度、耐腐食性など優れた特性を有するため、電線化への期待が持たれる。CNT電線化にあたり、線材の導電率低下は課題であり、導電性に影響する因子の評価は重要である。CNT線材の構造観察ができる解析方法として、走査型透過電子顕微鏡(STEM: Scanning Transmission Electron Microscopy)法があり、CNT層数や径、ドーパント位置などの評価が可能である。
実験 / Experimental
観察試料： CNT線材TEM試料作製方法： FIBによる薄膜化 TEM観察： 低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡JEM-ARM200CF 観察方法： HAADF-STEM ABF-STEM EELS
結果と考察 / Results and Discussion
HAADF-STEMを用いたCNT線材の観察結果を図1(a)に示す。試料はヨウ素ドーピング後のCNT線材である。多層CNTから構成され、CNT内やCNT間に輝度の高い構造体が観察される。輝度の高い部分はヨウ素であることが考えられる。ドーピング前後の試料において線材断面領域から取得したEELSスペクトルのC-K端を図1(b)に示す。ドーピング前後でπ*ピークの立ち上がり位置は殆ど変わらず、ドーピングによって電子構造は変化しない。CNT隙間が埋まり接触抵抗が改善し、ドーピング前後で抵抗が低下したものと考えられる。今後、高導電なCNT線材開発に向けて、高空間分解能観察や配向性分布などの観察を検討する。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 (a) HAADF-STEM image of I-doped CNT wire rods. (b) EELS spectra of doped and non-doped samples.
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件