【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NU0222
利用課題名 / Title
固体電解質CO2電解セルのオペランド計測に向けた微細パターン電極の開発
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
燃料電池/ Fuel cell,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,光リソグラフィ/ Photolithgraphy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
Watanabe Hirotatsu
所属名 / Affiliation
立命館大学理工学部機械システム専攻
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NU-205：3元マグネトロンスパッタ装置
NU-231：マスクレス露光装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
CO2やH2Oを電気分解できる固体酸化物形電解セル(SOEC)が注目されているが，その高性能化のためには，電極のオペランド分析が不可欠である．本研究では，オペランド分析に用いるNiパターン電極の作成を行った．
実験 / Experimental
イットリア安定化ジルコニア(YSZ)基板に，フォトリソ→Ni成膜→リフトオフのプロセスで，Niパターン電極を作成した．その後，SOEC電極とするため，YSZ裏面にLSM/YSZインクを塗布し，1200℃焼結を行った．
結果と考察 / Results and Discussion
本プロセスにより，電極が欠けたり，切れたりすることなく，NiパターンをYSZ基板上に作製できた．SOEC動作時におけるパターン電極のオペランドX線分析を行う予定であったが，LSM/YSZ焼結後に，Niパターンが気化してしまい，Ni膜がほとんどなくなってしまう結果となった．Niパターンは高温焼結に弱いことが明らかとなったため，次回は，事前にLSM/YSZ焼結したYSZ基板に，Niのスパッタリングを行う予定である．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件