【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.07】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23GA0093

利用課題名 / Title

医療用センサの製作と評価

利用した実施機関 / Support Institute

香川大学 / Kagawa Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

医療用センサ,リソグラフィ/ Lithography

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

小原 英幹

所属名 / Affiliation

香川大学 医学部 附属病院

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

三瀬 奈智,吉本 圭介,田中 楽人,大石 尭也

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

高尾 英邦,中田 智恵美,竹歳 麻耶

利用形態 / Support Type

（主 / Main）共同研究/Joint Research（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

GA-002：マスクレス露光装置
GA-003：スピンコータ－

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

　先進的医療現場では、患者の情報を非侵襲で収集可能な各種の小型センサに対する期待とニーズが高まっている。本研究では、患者の体に負担とならない超小型のシリコンセンサ実現にむけて、継続的に微小なセンサ構造の開発を試みつつ，医療用センサの実現を目指している。そこで触圧を適正に維持する超小型センサの開発を継続的に行う。

実験 / Experimental

　これまでに形成した触圧センサをもとに、改良型の触圧センサを形成する。素材はSOI基板であり、微細加工技術でセンサ構造を形成した。

結果と考察 / Results and Discussion

 Fig. 1は製作した触圧センサの接触部である。同様にリソグラフィ技術を用いて集積型の触圧部を形成した。デバイス製作工程含めた製造技術の開発は、香川大学の工学系共同研究者と連携した。今回製作したセンサには計測上不可欠な新機能を追加しており、従来の性能に加えて別の軸の情報を取得できている。この改良は様々な医療技術や機器搭載に必要な仕様への対応につながり、センサの用途を拡げる。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Fig. 1 製作した改良型触圧センサの接触部構造

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

共同研究者：香川大学　微細構造デバイス統合研究センター長　高尾英邦　教授

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件