【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.28】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23GA0091

利用課題名 / Title

高分子膜の特性評価

利用した実施機関 / Support Institute

香川大学 / Kagawa Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy,電子線リソグラフィ/ EB lithography

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

武田 琢磨

所属名 / Affiliation

四国化成工業株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

武田 琢磨,横井 彩,田原 晃生

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

GA-001：電子線描画装置
GA-013：ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

現在開発中の高分子材料について膜特性（造膜性、フォトリソ性、耐溶剤性、耐エッチング性）を確認する。
感光性樹脂の表面観察をSEMで行う際、樹脂が電子線の影響により分解し表面状態が変化する可能性がある。
分解抑制を目的に、極力小さな加速電圧にて行えるように加速電圧の最適化を検討した。
尚、樹脂表面観察後、別の処理を行う必要があるため、金属蒸着等の処理は行わないこととした。

実験 / Experimental

SEMの加速電圧を0.5~3.0kVの幅で表面観察を行い、表面観察可能な最低加速電圧を検討した。
尚、感応性樹脂は数十nm幅のL/Sであり、30,000倍で観察を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

加速電圧3.0kV、2.0kVではラインが鮮明に確認できたものの、1.0kV、0.5kVではラインがブリッジしたように映り、十分な解像度が得られなかった。
よって、2.0kVが表面観察に必要な最低電圧と判断した。
低加速電圧時の解像度不足は、チャージアップやカーボンコンタミネーションによるものと考えている。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

3.0kV

2.0kV

1.0kV

0.5kV

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件