【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23GA0071
利用課題名 / Title
THz帯メタマテリアルの作製
利用した実施機関 / Support Institute
香川大学 / Kagawa Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
THzメタマテリアル,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,フォトニクス/ Photonics
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
鶴町 徳昭
所属名 / Affiliation
香川大学 創造工学部 材料物質科学領域
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
前田季里,一色皐月
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
GA-002：マスクレス露光装置
GA-003：スピンコータ－
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
THz帯においては自然界に大きな電磁応答を示す材料が不足しているため、将来 のTHzデバイス開発のために様々な特性を持つメタマテリアルの実現が期待されて いる。我々は円偏光応答を示すTHz帯のメタマテリアルに着目している。今回は円偏光を閉じ込めるための微小共振器に用いる利き手保存二重ワイヤグリッド（WG)ミラーの開発を行った．
実験 / Experimental
WG構造をSU-8フィルム上に作製した。マスクレス露光装置（大日本科研社製 MX-1204）によりパターン描画を行い、金薄膜を真空蒸着装置（ULVAC社製 VPC-1100:登録外機器）にて成膜後、リフトオフ法により構造を作製した。その後、SU-8を表面にスピンコーター(ミカサ社製MS-B150)にて塗布しハードベイクを行うことで メタマテリアルを含むSU-8フィルムを作製した。これらを組み合わせることで利き手保存二重ワイヤグリッド（WG)ミラー試料を作製した．
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1に作製した利き手保存二重WGミラーの写真を示す．本来はSi基板上に作製したSU-8薄膜を剥離して用いるものだが，剥離がうまくいかずに今回は途中の段階でプロセスを終了した．今後は，成膜条件を改めて調査し，メタマテリアルを含む高分子フィルムの作製を行うとともに，所望の試料作製を行う．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 利き手保存二重WGミラー
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 前田 季里，大社 史弥, 東原 奈央, 水谷 颯真,下川 房男, 時実 悠, 吉田 浩子, 安井 武史, 鶴町 徳昭，”THz帯SHGを志向したL字型メタマテリアルの作製および透過特性評価”，2023年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会、島根大学、2023年7月29日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件