【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.26】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23GA0041
利用課題名 / Title
生体適合型構造色式センサの開発
利用した実施機関 / Support Institute
香川大学 / Kagawa Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,PVD,スパッタリング/ Sputtering
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
前田 祐作
所属名 / Affiliation
香川高等専門学校
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
藤井想真
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
生体適合材料で構成されたセンサ素子の開発を行う。
実験 / Experimental
構造色生成面は鏡面である必要があるが，通常のLCDSLA3Dプリンタ造形物は積層痕の影響により鏡面は得られない，本実験では，シリコンウェハをプラットフォームとした造形を行い，鏡面を転写したセンサ構造の表面形状を白色干渉搭載レーザ顕微鏡等を使用して，平坦度，表面粗さを取得して評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
試作を行ったセンサ構造の写真を図１に，その表面形状を図２に示す。構造色の生成には，200nm以下の平坦度が必要であるが，造形物の洗浄時に生じたパーティクルの影響を除けば，1.6mm程度の範囲において，その要件を満たしていることを確認した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
試作センサ素子
素子の表面形状
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
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Yusaku Maeda, Fabrication of Structural-Color Based Force Sensor with Biocompatibility for Endoscopic surgery, 2023 IEEE SENSORS, , 1-4(2023).
DOI: 10.1109/SENSORS56945.2023.10325282
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件