【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.22】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23BA0045
利用課題名 / Title
(ARIM)触針式表面段差計 Alpha-Step D-500装置による膜厚の観察
利用した実施機関 / Support Institute
筑波大学 / Tsukuba Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
エレクトロデバイス/ Electronic device,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
丸本 一弘
所属名 / Affiliation
筑波大学数理物質系
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
佐藤睦,井上開渡,岡部沙代
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究室で作製している有機デバイス（有機ELデバイス、有機トランジスタ、有機太陽電池）は、薄膜を積層したデバイス構造であり、各層の膜厚の制御がデバイスの特性制御に非常に重要である。そのため、デバイス作製条件の検討を行うために、段差計を用いて膜厚の測定を行った。
実験 / Experimental
以下に示す各種薄膜をスピンコート法および真空蒸着法で作製した。
・Glass/PEDOT:PSS（スピンコート法）
・Glass/PM6 :Y6（スピンコート法）
・Glass/PDINO（スピンコート法）
・Glass/PFN-Br（スピンコート法）
・Glass/PNBTz1（スピンコート法）
・Glass/Au（真空蒸着法）
・Glass/Ni（真空蒸着法）
結果と考察 / Results and Discussion
有機薄膜の膜厚測定から、それぞれの有機材料の膜厚が以下のとおりであることが明らかになった。
・PEDOT:PSS（30 nm）
・PM6:Y6（100 nm）
・PDINO（12 nm）
・PFN-Br（5 nm）
これらの膜厚は所望の膜厚となっており、使用した製膜条件が膜厚について最適化されていることが確認された。
また、金属薄膜の膜厚測定から、真空蒸着装置に使用している水晶振動子式膜厚計の設定値の再較正を行った。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件