【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.22】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23BA0017

利用課題名 / Title

位相変調光学素子の作製

利用した実施機関 / Support Institute

筑波大学 / Tsukuba Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

ITO膜

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

髙谷 剛志

所属名 / Affiliation

筑波大学システム情報系

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

佐藤 良樹,蛭子 綾花

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

谷川 俊太郎

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

BA-024：ワイヤボンダー
BA-014：触針式表面段差計

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

本研究は，光の位相を電気的に変化させる光学素子を作製することを目的とする．今年度は，ニオブ酸リチウム基板にITO膜・金端子の順に蒸着した光学素子と，電子回路基板とを結線するためにワイヤボンダを用いた．また，UVプリンタによる印刷性能評価のため，印刷物の凹凸を触針式表面段差計で計測した．

実験 / Experimental

事前にNIMSにおいて，ニオブ酸リチウム基板上にITO膜をスパッタリングし，その上に電子回路基板接続用の金端子を円環状にスパッタリングした．その後，筑波大学内のワイヤボンダを用いて，金端子と電子回路基板とを結線した．
別件として，UV硬化式インクを用いた2.5Dプリンタ（UVプリンタ）による印刷において，積層回数と，印刷される凹凸の形状との関係性を調査するために，筑波大学内の触針式表面段差計を用いて印刷物を計測した．

結果と考察 / Results and Discussion

図1に示すように，素子と電子回路基板との接続が完了した．
UVプリンタの印刷性能評価については，ストライプ状のパターンを印刷し，計測した結果，図2に示すような形状が得られた．高さ方向に5マイクロメートル程度の分散があることがわかった．また，ストライプ状パターンはバイナリパターンであるが，滑らかな形状になっていることが確認された．

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1 ワイヤボンダによる結線

図2 触針式表面段差計による計測結果

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件