【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.10】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NM0080
利用課題名 / Title
材料の断面観察
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
集束イオンビーム（FIB）/ Focused ion beam、複合材料/ Compound materials
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
石 恵美子
所属名 / Affiliation
大日本印刷株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
岡田 徳行,長井 拓郎
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
■目的
フィルム上に複数の有機層を積層している。 この積層体は類似の有機成分からのみ構成されているため、各層間のコントラストが付きにくく観察が難しい。 効率よく観察できる方法を調査しており、今回FIBによる断面観察を検討した。
実験 / Experimental
■実験方法
フィルム上に複数の有機層を積層した材料を準備し、表面方向からFIBにて加工を行った。
FIB加工条件並びにSEM観察条件の最適化を行いつつ、データを取得した。
結果と考察 / Results and Discussion
■結果
フィルム上に複数有機層を積層した材料について、FIB加工によるSEM観察を実施した。
条件を複数変更して検討を行ったが、明瞭な層構成情報を取得することはできなかった。
■考察
今回のフィルム上に複数有機層を積層した材料については、FIB-SEMによる観察が困難であることが確認された。
なお、本サンプルについてミクロトームで断面出しを行ってSEM観察した場合には、積層状態を確認することができる。
これは材料微細な硬さの違いによって各層の切りやすさに違いが出るためと推測する。
FIB-SEMの場合は硬さ由来の影響を一切排除して断面加工を行うため、有機材料同士ではコントラスト差がつかず、積層構造を観察できなかったと考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図_フィルム上に複数有機層を積層させた材料の断面SEM像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
■謝辞
本測定を進めるにあたり、長井様、岡田様には多大なるご指導をいただきました。心より御礼申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件