【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NM0021
利用課題名 / Title
半導体向け固体、液体材料の分析、精製
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
有機金属化合物,核磁気共鳴/ Nuclear magnetic resonance
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
布施 友梨
所属名 / Affiliation
日本エア・リキード合同会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
安田勝徳(Yasuda Katsunori)
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
服部晋也
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
1H-NMRによる、溶媒中に溶けた未知濃度の有機金属化合物の濃度と純度測定
半導体プロセス向けの配線材料の供給を目的とし、材料の分析方法を確立した上で精製技術を確立した。
さらに熱や酸化による分解特性を評価することで供給技術開発の指針とする。
実験 / Experimental
未知濃度の有機金属化合物をNMR溶液として調整し、1H-NMR測定を行う。
得られた溶媒に由来するピークと有機金属化合物に由来するピークから有機金属化合物の濃度を算出する。
未知濃度の有機金属化合物をNMR測定溶液として調整し、1H-NMR測定を行う。
得られたNMRスペクトルから有機金属化合物の純度を算出する。
結果と考察 / Results and Discussion
溶媒に由来するメインピークと有機金属化合物のメインピークを特定し、有機金属化合物の濃度を算出することができた。
NMRスペクトルから不純物のピークを特定し、有機金属化合物の純度を算出することができた。
材料の特性などにより他の分析方法では難しい有機金属化合物の分析をH-NMRで行うことができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件