【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.19】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UT1177
利用課題名 / Title
ナノワイヤ用電極の作製
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
エレクトロデバイス/ Electronic device,電子顕微鏡/ Electronic microscope,リソグラフィ/ Lithography,電子線リソグラフィ/ EB lithography,ナノワイヤー・ナノファイバー/ Nanowire/nanofiber
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
成田 雄紀
所属名 / Affiliation
東京大学工学系研究科マテリアル工学専攻
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-503：超高速大面積電子線描画装置
UT-855：高精細電子顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
WO3ナノワイヤをセンサ材料とするガスセンサ作製を目的とする．
実験 / Experimental
上記の研究目的のため，基板上に分散されたナノワイヤに対しUT-503を用いてリソグラフィーを行い，のちに金属蒸着を行うことで，ナノワイヤの両端の位置に電極を作製した．チャネル長は2.5μmとした．25 mm×25 mm基板に対して行った．超高速大面積電子線描画装置(UT-503)でのリソグラフィー前には，必ずレジスト塗布を行っており，使用するレジスト種類によって露光量を変化させた．ZEP520A-7を使用した場合は露光量105μC/cm2, OEBR-CAP112を使用した場合は露光量6.8μC/cm2とした．また，高精細電子顕微鏡(UT-855)では，使用するナノワイヤの形状の確認を行った．
結果と考察 / Results and Discussion
超高速大面積電子線描画装置(UT-503)でリソグラフィーを行ったデバイスでは，ナノワイヤ両端に露光を行い，のちに現像でレジスト除去を行うことに成功した．また，金属を蒸着させた結果，ナノワイヤ両端に電極を堆積させることに成功した．(図1参照)特に問題はなかった．高精細電子顕微鏡(UT-855)では，ナノワイヤ表面状態をはっきりと観察することができた．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1. ナノワイヤデバイス
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 成田雄紀，田中貴久，内田建，「低電圧下において低消費電力駆動が可能な低抵抗(NH4)xWO3ナノワイヤアセトンセンサ」，第84回応用物理学会秋季学術講演会，熊本，9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート, 19a-A309-4, 2023年9月19日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件