【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NM5475
利用課題名 / Title
ソフトマター・エレクトロニクスの研究
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
荒井 俊人
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
下川 真理子
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
金属のナノ粒子が液体中に分散したコロイドは，金属配線を塗布により作製するための材料として注目されている．我々はこれまでに，ある特殊な銀ナノコロイドを用いることで，線幅1 μm以下の高精細な配線パターンを形成する手法を見出している．得られた配線の導電性は金属ナノ粒子どうしが接触・融着する自己焼結挙動により決まる．本課題では，最近用いている金属ナノコロイドにおける粒子同士の自己焼結性を評価するために，走査型電子顕微鏡(SEM)による観察を行った．
実験 / Experimental
本研究では，銀ナノコロイドをシリコン基板上に10 μL程度滴下し，室温で乾燥させたものをSEMにより観察した．
結果と考察 / Results and Discussion
得られたSEM像を図に示す．粒子の1次粒径は30 nm程度であり，こうした一次粒子由来の凹凸が見受けられるが，それらは孤立した粒子としては存在せずに，隣接した粒子同士が融着しているように見てとれる．今回，塗膜の加熱処理などは一切行っていないため，こうした焼結構造は室温での塗布・乾燥の過程で生じていることがわかる．さらに，この塗膜では自己焼結が進んだ結果，蒸着で得られる銀薄膜と遜色のない良好な導電性が得られることを確認している．今後は, 分散媒中の銀ナノ粒子の挙動や，塗布後の焼結過程をさらに詳しく調べることで，新たな高機能ナノコロイドの開発を進める．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図．銀ナノコロイド塗膜表面のSEM像．
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本研究は，文部科学省の卓越研究員事業 JPMXS0320220012 の支援を受けたものです．
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件