利用報告書 / User's Reports


【公開日:2024.07.25】【最終更新日:2024.05.13】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23NM5314

利用課題名 / Title

14族原子層物質の合成と機能化に関する研究

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用(ARIM事業参画者以外)/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication(副 / Sub)-

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions(副 / Sub)-

キーワード / Keywords

ゲルマネン


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

岩崎 拓哉

所属名 / Affiliation

物質・材料研究機構

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

鈴木 誠也

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

渡辺 英一郎

利用形態 / Support Type

(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub)-


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-656:ダイシングソー [DAD3220]


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

ゲルマネン(2次元ゲルマニウム物質)の合成基板となるGe(111)ウエハをカットする。カットにはダイシングソーを用いる。

実験 / Experimental

ダイシングソーを用いて30 mm長にGe(111)ウエハをカットする。通常は3.4 mm幅、10 mm幅にカットしているが、今回は新規測定装置の治具と合致するように、2mm幅と7mm幅にカットする。

結果と考察 / Results and Discussion

ゲルマネン合成方自体は既に確立しているため、ダイシングソーによってGeウエハをカットすることで、様々な装置治具と合致するゲルマネン試料を作製できる。ダイシングにより、Ge(111)ウエハを2mm幅、8mm幅、10mm幅にカットし、それぞれについてゲルマネンを合成することに成功した。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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