【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.07】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NM5068
利用課題名 / Title
電子顕微鏡用スリットの作製
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
計測技術開発,リソグラフィ/ Lithography
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
吉川 純
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
諸永友美
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
大石 誠
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ナノスケールでのフォノン輸送を電子顕微鏡を用いて計測・解析することを目的としている。新しい計測に向け、FIBを用いて電子顕微鏡用のスリットを作製する。
実験 / Experimental
FIB装置を用いて、金属箔へのスリット作製を行い、その金属箔の切り抜きと電子顕微鏡用絞りへの貼り付けを行った。その際にビーム電流やプローブサイズによる加工精度などを調べ、最適化した。そのなかで、最小円孔作製の条件出しも行った。
結果と考察 / Results and Discussion
FIBビームのサイズと電流を小さくすることで、溝孔側面のバリを低減し、所望の電子顕微鏡用スリットを作製することができた（図）。さらに、電子プローブの非点を小さくすることで、直径100nm程度の円孔を金属箔に作製できることがわかった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
FIBで作製した電子顕微鏡用スリット
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件