利用報告書 / User's Reports


【公開日:2024.07.25】【最終更新日:2024.06.24】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23HK0070

利用課題名 / Title

完全吸収メタ表面で実現するdeep strong coupling

利用した実施機関 / Support Institute

北海道大学 / Hokkaido Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication(副 / Sub)物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions(副 / Sub)-

キーワード / Keywords

光リソグラフィ/ Photolithgraphy,赤外・可視・紫外分光/ Infrared/visible/ultraviolet spectroscopy,フォトニクス/ Photonics


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

西島 嘉明

所属名 / Affiliation

横浜国立大学 大学院工学研究院

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

松尾保孝,石旭,佐々木仁,遠堂敬史,大西広,細井浩貴,中村圭佑,浮田桂子,小島俊哉

利用形態 / Support Type

(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub),技術代行/Technology Substitution


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

HK-604:レーザー描画装置


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

金属ー誘電体ー金属からなるメタ表面を駆使した中赤外光放射制御技術を実現する

実験 / Experimental

製膜した基板上にレーザーリソグラフィを使い、大面積なパターンを作成する。

結果と考察 / Results and Discussion

レーザー顕微鏡による構造観察の結果、概ね設計通りに構造ができていることが分かった。一方赤外反射顕微分光システムで反射スペクトルを計測した結果、数マイクロメートル波長が長波長側にシフトしている結果が得られた。これは、構造が設計よりも大きくなっていることを示す結果であり、今後電子顕微鏡を使った解析でサイズを正確に計測するとともに、実験条件の見直しを行う。さらに、自作で、放射マッピング装置を構築し、放射分布を計測の結果目的の機能を持つ構造が作製できていることを確認できた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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