【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.27】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23AT0232
利用課題名 / Title
反射膜の作成
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
熱電材料/ Thermoelectric material,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
新田 詠子
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
郭 哲維
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
AT-109：６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック）
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
磁性を用いた革新的な熱電発電材料の開発に置いて、評価物質の熱伝導率を計測する。計測に置いてはサーモリフレクタンス技術を利用する。このため、温度を検知するための金属反射膜をサンプル表面に作成する。
実験 / Experimental
反射鏡の作成には抵抗加熱蒸着法や、イオンビームスパッタ法、電子ビーム真空蒸着法などある。本技術開発では、産総研ナノプロセシング施設にある電子ビーム真空蒸着法によって、各種単結晶材料の表面に厚さ30 nmのAl膜を作成した。
結果と考察 / Results and Discussion
各種単結晶材料の試料を測定した結果、良好なサーモリフレクタンス信号が得られることが確認できた。このことから、電子ビーム真空蒸着法を用いても、サーモリフレクタンス技術で温度を検知するための金属反射膜を形成できることが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件