【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.04】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23AT0126
利用課題名 / Title
磁性薄膜ドット加工
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
スピン制御/ Spin control,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,膜加工・エッチング/ Film processing/etching,スピントロニクス/ Spintronics
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
染谷 浩子
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
赤松 雅洋
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
磁性ガーネット薄膜材料においてハイスループット実験を実行し、薄膜組成の最適化実験、及び素子構造、加工プロセスの最適化実験を行っている。本課題では、コンビナトリアルスパッタ装置を用いて成膜した3元系薄膜を、成膜後に加熱処理し結晶化させたサンプルに対して、アルゴン（Ar）イオンミリング装置を用いてエッチング加工を行い、デバイス作製を行った。
実験 / Experimental
1インチΦの結晶性のガドリニウムガリウムガーネット（GGG,SGGG）を基板として、コンビナトリアルスパッタ装置を用いて成膜した。この3元系薄膜に対し、コンタクト露光で作製したドット形状のレジストパターンを形成し、これをマスクにしてArイオンミリングを行う手順で、3元系薄膜のドットパターンを作製した。
結果と考察 / Results and Discussion
本年度は、材料探索の為、様々な材料で成膜を行い、デバイスを作製したため、ミリングの条件探索を試みた。レシピ#0 NPF500V YIG単層膜:120Å/min(Bi Y Lu)IG膜:150Å/min (Gd Y Ce)IG膜:130Å/min(Gd Y Lu)IG膜:140Å/min(Tb Y Tm)IG膜:140Å/min(Tb Y Lu)IG膜:140Å/min 組成比を変えてもレートにはあまり変化が無いが、中間層にYIG膜を挟むとレートが遅くなる傾向がある。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件