【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.08】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23AT0036

利用課題名 / Title

製品層内に付着した汚れ・異物の分析

利用した実施機関 / Support Institute

産業技術総合研究所 / AIST

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

石英・ガラス系材料,赤外分光,光学顕微鏡/ Optical microscope,赤外・可視・紫外分光/ Infrared/visible/ultraviolet spectroscopy,高度素材識別技術/ Advanced material identification technology

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

新井 脩矢

所属名 / Affiliation

AGCグラスプロダクツ株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

髙橋 司,川俣 哲也

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

鬼澤 敦子

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

AT-066：顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR)
AT-084：該当設備なし

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

異物・汚れは製品の外観異常の代表的な原因であり、生産歩留まりの低下や製品品質の低下を引き起こすため、その対策は重要である。 今回、洗浄後に発生する異物付着の根本的な解決につながる原因物質の特定を目指し、産業技術総合研究所ナノプロセシング施設の設備を利用して、異物の成分分析を行った。

実験 / Experimental

【実験方法】異物成分分析 顕微フーリエ変換赤外分光装置のATR法を用いて製品表面に付着した異物の成分分析を行った。
【利用した主な装置】【AT-066】顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR)【AT-084】デジタルマイクロスコープ

結果と考察 / Results and Discussion

異物の成分分析   製品層内に付着した異物をFig.1に示す。この異物にATR法を用いて成分分析を行ったところ、シリコン製搬送ベルトと成分が一致した。異物とシリコン製搬送ベルトのピークを比較したものをFig.2に示す。このことから、シリコン製搬送ベルトが削れたものが部材表面に付着したため、製品組み立て時に層内に侵入し、異物が発生していたと考えられる。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Fig. 1

Fig. 2

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

なし。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件