【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.02.27】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23AT0014

利用課題名 / Title

金属ナノ材料に関する研究

利用した実施機関 / Support Institute

産業技術総合研究所 / AIST

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

銀ナノ材料,走査プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscope,光学顕微鏡/ Optical microscope,ナノシート/ Nanosheet

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

yoshiko yokota

所属名 / Affiliation

産業技術総合研究所

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

佐藤平道,山崎将嗣

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

AT-048：ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500]
AT-061：短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

銀ナノ材料の表面形態と厚さ等を測定する。

実験 / Experimental

銀ナノ材料をシリコンウエハーに乗せて、短波長レーザー顕微鏡OLS-4100で観察した。短波長レーザー顕微鏡での測定では詳細な厚さがわからなったので、同じサンプルについてナノサーチ顕微鏡を使って観察し厚さを測定した。

結果と考察 / Results and Discussion

シリコンウエハーにのせた銀ナノ材料を短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]で観察したところ、銀ナノ材料の詳細までは観察できなかった(図1)。ナノサーチ顕微鏡では、銀ナノ材料のより微細な部分を観察することができ、44nm程度の厚さを測定することができた(図2)。しかしもっと薄い部分がある可能性があるので、さらにサンプルを調製し、複数のサンプルを測定する必要がある。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1.短波長レーザー顕微鏡 [OLS-4100]で観察した銀ナノ材料

図2.ナノサーチ顕微鏡で観察した銀ナノ材料

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]、ナノサーチ顕微鏡を利用させたいただくにあたり、佐藤平道様、山崎将嗣様に大変お世話になりました。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件