【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.04】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23IT0012
利用課題名 / Title
メタマテリアル光機能素子の作製
利用した実施機関 / Support Institute
東京工業大学 / Tokyo Tech.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,リソグラフィ/ Lithography,電子線リソグラフィ/ EB lithography,フォトニクス/ Photonics
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
雨宮 智宏
所属名 / Affiliation
東京工業大学工学院電気電子系
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
IT-038：電子ビーム露光装置
IT-008：3連Eガン蒸着装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
メタマテリアルをベースとした光機能素子を実現するためにARIMの設備を利用した。
実験 / Experimental
電子ビーム露光装置（JEOL JBX-8100)(IT-038)による対象基板への電子線描画レジストの転写。3連Eガン蒸着装置（Ulvac EX-300)(IT-008)によるリフトオフプロセスを用いた光メタマテリアルパターンの形成。
結果と考察 / Results and Discussion
メタマテリアルをベースとした各種光機能素子の作製を実施した。電子ビーム露光装置(IT-038)による対象基板への電子線描画レジストの転写、および3連Eガン蒸着装置(IT-008)によるリフトオフプロセスを用いることで、サイズとして150nmx150nmのメタマテリアルアレイをシリコン導波路内に実装し、それに伴う強い非線形効果を観測することに成功した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
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Yoshihiro Honda, Extended optical waveguide theory with magneto-optical effect and magnetoelectric effect, Optics Express, 31, 32017(2023).
DOI: doi.org/10.1364/OE.496200
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 雨宮 智宏. メタマテリアルを内包した有機フィルム開発, フォトニクスポリマー研究会, Nov. 2023.
- 雨宮 智宏, 岡田 祥, 西山 伸彦, 大塚 健祐, 浦上 達宣. メタマテリアル技術を用いた放射冷却パッケージ材, 第84回応用物理会秋季学術講演会, 23p-A309-1, Sept. 2023.
- 本多 祥大, 雨宮 智宏. メタマテリアル導波路による非線形光活性化関数, 第70回応用物理学会春季学術講演会, 16p-A305-2, Mar. 2023.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：3件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：1件