【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22GA0100
利用課題名 / Title
高さ測定
利用した実施機関 / Support Institute
香川大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
高さ測定,白色干渉,分析,形状・形態観察,異常測定,ガラス面,金属パターン
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
村山 隆
所属名 / Affiliation
株式会社ヒューテック
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ガラスに蒸着した金属パターンの高さ100 nmを、白色干渉の原理を用いて確認した。
実験 / Experimental
撮像範囲にガラス面と金属パターンの両方が写るようにセットし、白色干渉式非接触三次元形状測定器Wyko（ﾌﾞﾙｶｰ･ｴｲｴｯｸｽｴｽ社製、NT91001A）を用いて測定した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1に測定した高さのマップ画像を示す。ガラス面と金属パターンが確認できる。また、Fiｇ.2およびFig.3にＸ方向とＹ方向の高さ情報を示す。Fig.2、Fig.3よりガラス面と金属パターンの高さは104.6 nm、104.8 nmの結果が得られた。 よって、金属パターンは高さ精度5 %程度であることが確認できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 ガラス面と金属パターンの高さマップ画像
Fig.2 X Profileの高さ情報
Fig.3 Y Profileの高さ情報
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件