【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.02.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23WS0011
利用課題名 / Title
Siウェハの切断
利用した実施機関 / Support Institute
早稲田大学 / Waseda Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
デバイス・センサー関連材料,センサ/ Sensor,ダイシング/ Dicing,ナノワイヤー・ナノファイバー/ Nanowire/nanofiber
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
青木 隆朗
所属名 / Affiliation
早稲田大学 先進理工学部 応用物理学科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
堀川政太郎,田中智文
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
田中大器
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
レーザー光照射により真空層内のファイバーブラッググレーティング（FBG）の温度調整を行うことを目的とした。その際の被加熱物として、ダイシングソーで切断したシリコン(Si)ウエハを用いた。
実験 / Experimental
NTRCのダイシングソーにて、4inchのSiウエハを縦30mm, 横5mmの長方形に切り出した。 その後弊研究室にて作成したファイバーブラッググレーティング（FBG）を、切り出したSiウエハに貼り付け、真空環境下(1e-5 Pa)に置いた。そこに波長780nmの近赤外レーザーをSiウエハに照射することによりFBGの温度の調整を行った。 最後にFBGの反射特性を分光することにより、温度調整の結果を測定した。
結果と考察 / Results and Discussion
真空環境下においたSiウエハおよびFBGに近赤外レーザーを照射した結果、0.5GHz/mWのFBGの反射波長帯のシフトが確認された。本研究室における測定にて、FBGの反射波長帯の温度特性は3.3GHz/℃であった。これをもとにするとSiウエハと近赤外レーザーを組み合わせることにより、レーザーの出力強度に対して 0.15℃/mWの温度上昇を誘起することができたといえる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
ファイバーブラッググレーティング（FBG）は、光ファイバーに周期的屈折率変調を誘起したものであり、特定の波長の光のみを反射する特性をもつ。FBGの反射波長帯は温度や圧力により変化する。
謝辞
NTRCの田中大器氏には、装置の使用方法についてご指導いただきました。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件