【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22TT0041
利用課題名 / Title
フラーレンナノウィスカーの配向制御
利用した実施機関 / Support Institute
豊田工業大学 / Toyota Tech.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
fullerene, whisker, FNW, 誘電泳動法,電子顕微鏡/Electron microscopy,走査プローブ顕微鏡/Scanning probe microscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
柴田 貴斗
所属名 / Affiliation
豊田工業大学大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TT-009：シリコン専用の各種熱処理（酸化、拡散）装置一式
TT-013：ダイシング装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
シリコン酸化膜基板上に作製した電極パターンを用いて、誘電泳動法によりフラーレンナノウィスカーの配列を制御する。
実験 / Experimental
10ミリ四方のシリコン酸化膜ウェハ上に、金の電極パターンを作製し、その電極間（50ミクロン）に高周波電圧（1 V, 5 MHz)をかけながら、フラーレンナノウィスカー（FNW)溶液を滴下し、誘電泳動により配向を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
図1は、FNWのSEM像を示す。(a)は数本、(b)は多数本からなるFNWが電極間を架橋しているのがわかる。配向強度を分析したところ、(a)は(b)に比べて十分に配向度が高いことがわかる。多数本ではFNWが泳動するときに互いに干渉することにより泳動が阻害されたためだと考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1．誘電泳動後のFNWの配向SEM像。(a)数本、(b)多数本配向。
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件