【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.26】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22AT5039

利用課題名 / Title

SC-XAFS装置を用いた軽元素含有試料の蛍光X線スペクトル測定

利用した実施機関 / Support Institute

産業技術総合研究所 / AIST

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

放射光/Synchrotron radiation

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

志岐 成友

所属名 / Affiliation

産業技術総合研究所

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

AT-502：超伝導蛍光収量Ｘ線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS)

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

Particle Induced X-ray Emission (PXIE) は加速器を用いた分析手法の一つである。PIXEを用いた軽元素分析を実現することを目的として、筑波大学加速器施設のマイクロPIXEビームラインにおいて、 Superconducting Tunnel Junction (STJ)検出器を備えた SC-PIXE を開発している。本課題は、SC-PIXEで測定した試料の蛍光X線スペクトルをSC-XAFSを用いて測定することにより、SC-PIXEの特徴を明らかにすることを目的とする。

実験 / Experimental

高エネルギー加速器研究機構・放射光施設のビームライン BL-11A に SC-XAFS を設置し、単色X線照射時の蛍光X線スペクトルを測定した。

結果と考察 / Results and Discussion

軽元素を含む資料として、ポリイミド、テフロン、ステンレス、アルミニウムを用いた。図１に測定した蛍光X線スペクトルを示す。軽元素K線、遷移金属元素のL線が明瞭に検出された。SC-PIXEの測定結果とはスペクトル形状が大きく異なることが分かった。現在、スペクトルの差異の原因について考察を進めている。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図１．SC-XAFS装置を用いて測定した蛍光X線スペクトル。

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件