【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2024.06.25】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22IT0061

利用課題名 / Title

ニュースバルを用いての軟X線専用レジストの評価

利用した実施機関 / Support Institute

東京工業大学 / Tokyo Tech.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

リソグラフィ, 露光, 描画装置, レジスト塗布

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

原田 哲夫

所属名 / Affiliation

兵庫県立大学

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

梅本高明

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術相談/Technical Consultation（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

　ニュースバルを用いて軟X専用のレジストを評価するためには、メンブレン上にレジストを塗布することが有用である。兵庫県立大学にて5 mm角のSilson社のメンブレンを
　ウェハに直接貼り付けスピンコートを試したがうまくいかなかったため、東工大に技術相談を行い固定工具の作製やレジストの塗布方法等具体的な技術情報を得た。

    ＜メンブレンへのレジスト塗布方法＞
 (1) 固定工具準備
　メンブレン基板は破れやすく取扱いが難しいため固定工具を準備し固定する。 　　
　SiNメンブレン基板（NX10300C）（図1）をSUS製の固定工具（図２）で挟み込んで
　（図３） メンブレン基板を固定する。
 (2) メンブレン基板の接着　　
　剥離時にポジレジストに影響を与えないようにするため、メンブレン基板と固定工具の接着には ネガレジストを使用。
　メンブレン基板と固定工具の4隅の溝（図４）にネガレジスト（ma-N2405　100%）を微小量流し込み、 90℃/90秒加熱して固める。  
 (3) スピンコート
　真空チャックの吸着力では（重くて）固定工具を固定できないため、両面テープにて工具を固定する。
　メンブレン基板を接着した固定工具をガラス基板に両面テープ（厚みのある両面テープ）で接着し、そのガラス基板をスピンコーターのチャック部に両面テープで固定する。（図５）
 (4) レジスト基板裏面のレジスト塗布
　メンブレン基板の裏側は皿のようにくぼんだ形状のため、余分なレジストが壁面に阻まれてメンブレンの 外に出て行かず、外壁に溜まってしまう。（図６）
　そこで、レジストを希釈し粘性を下げ、スピンコーターの回転数を上げて、なるべく広い範囲に均一な 膜厚で塗布できる条件を探った。
　　　　　　
　PMMA A8レジストで得られた最適塗布条件はPMMA：ZEP-A（1：0.5）に希釈。 スピンコーターの回転数は約6000rpm。上記条件で塗布するとメンブレンの有効面積2.5mm□に対して2.5～2.7mm□の範囲に均一なレジスト膜厚でが塗布される。
レジスト膜厚は250nm程度。スピンコーターの回転数が2500rpmと約6000rpmの時の膜厚のばらつきを（図７）に示す。

実験 / Experimental

＜技術相談のため、実験はなし＞

結果と考察 / Results and Discussion

メンブレン上へのレジスト塗布に関して、技術相談にて、東工大から過去の実験で得られた知見を開示・説明していただいた。
固定工具の作製、メンブレン基板の接着、レジストの塗布方法・最適な塗布条件などの有用な技術情報を得た。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図１．メンブレン基板　　図２.　SUS製固定工具　　図３.　メンブレン基板固定
図４．メンブレン基板接着　　図５．スピンコート　　図６．メンブレン基板裏面　　図７．レジスト膜厚分布

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

なし。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件