【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.09】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22GA0093
利用課題名 / Title
医療用センサの製作と評価
利用した実施機関 / Support Institute
香川大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
医療用センサ,リソグラフィ・露光・描画装置,パターニング
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
小原 英幹
所属名 / Affiliation
香川大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
吉川翔,小松原雅仁,山田原暉,三瀬奈智,吉本圭介,清水俊宏
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）共同研究/Joint Research（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
GA-002：マスクレス露光装置
GA-003：スピンコータ－
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
大学病院などの先進的医療現場では、患者の情報を非侵襲で収集可能な各種の小型センサに対する期待とニーズが高まっている。本研究では、患者の体に負担とならない超小型のシリコンセンサ実現にむけて、継続的に微小なセンサ構造の開発を試みつつ、医療用センサの実現を目指している。そこで触圧を適正に維持する超小型センサの開発を行う。
実験 / Experimental
シリコン基板に必要な力計測レンジを持つ触圧センサを形成する。素材はSOI基板であり、微細加工技術でセンサ構造を形成した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. 1は製作した触圧センサのカンチレバー構造部である。同様にリソグラフィ技術を用いてカンチレバーとなる範囲を形成した。電極材料としては、人体への影響を鑑みてアルミを用いず、シリコン配線とした。デバイス製作工程含めた製造技術の開発は、香川大学の工学系共同研究者と連携した。今回製作したセンサの特性測定結果は、想定される触圧レンジにおいて十分な精度と性能を発揮した。設計寸法を変化させることで、様々な医療技術や機器搭載に必要な仕様への対応が可能である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 製作した触圧センサのカンチレバー構造
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
共同研究者：香川大学 微細構造デバイス統合研究センター長 高尾英邦 教授
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件