【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.09】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22GA0012

利用課題名 / Title

環状ＤＮＡ計測に向けたマイクロ流体デバイス開発

利用した実施機関 / Support Institute

香川大学 / Kagawa Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

リソグラフィ,露光,電子線描画, SEM,SU-8,ナノ構造,１分子計測

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

平野 研

所属名 / Affiliation

産業技術総合研究所四国センター

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

多納圭佑

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）共同研究/Joint Research（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

GA-001：電子線描画装置
GA-002：マスクレス露光装置
GA-006：・走査電子顕微鏡群（EDS付き）・イオンコータ

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

環状DNA計測に向けて、DNA分子のピンポイントな物理操作と酵素処理を行うためのマイクロ流路作製に取り組んだ。EB描画もしくはマスクレス露光したマスク上にSU-8構造をパターニングすることで、紫外線露光でマイクロピラー構造の形成を試行した。

実験 / Experimental

【利用した主な装置】
電子線描画装置（ELIONIX社製、 ELS-7500EX）、マスクレス露光装置（大日本科研社製、 MX-1204）、走査電子顕微鏡（EDS付き）（JEOL社製、 JSM-6060-EDS）、超臨界洗浄・乾燥装置（Rexxam社製、 卓上型SCRD4）

【実験方法】
マスクレス露光装置により様々な直径の円形マイクロパターンをアレイ状に有したCrマスクを作製した。SU-8 3005をスピンコートし、本マスクを用いて紫外線露光することでSU-8のパターニングを行い、DNAをトラップするためのマイクロピラーアレイを形成した。超臨界洗浄・乾燥装置にて洗浄・乾燥した後、SEM観察を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

作製した構造を Fig. 1 に示す。マイクロピラー群を一括形成することに成功した。本デバイスをマイクロ流体デバイスと統合することでDNAの捕捉観察が可能となった。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Fig. 1 SU-8 micropillars.

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件