【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.22】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NU0068
利用課題名 / Title
プローブ部品の表面の微細構造
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/Electron microscopy,電子顕微鏡/Electron microscopy,集束イオンビーム/Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
早川 史洋
所属名 / Affiliation
株式会社愛工舎
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NU-103：高分解能透過電子顕微鏡システム
NU-105：バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム
NU-106：試料作製装置群
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
弊社で作製している真鍮コンタクトプローブの表面に処理した金属メッキ層の厚みと付着具合を知りたい
実験 / Experimental
バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステムで試料表面メッキ層の断面試料を作製し、高分解能透過型電子顕微鏡でEDS分析を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
高分解能透過型電子顕微鏡観察とEDS元素分析結果から、真鍮製のプローブのメッキ層の厚さは、メッキに使用した金とNiがそれぞれ1μm程度であることが判明した。今後の製品開発にも応用していく予定である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
FIBで作製した試料表面のSEM画像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件