【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.07.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22OS1042
利用課題名 / Title
フォトニック結晶レーザの開発
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies
キーワード / Keywords
半導体レーザ, フォトニック結晶, EBリソグラフィー描画装置,リソグラフィ/Lithography,蒸着・成膜/Evaporation and Deposition,EB
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
近藤 正彦
所属名 / Affiliation
大阪大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
梶井 博武, 葉 漢嶠 (Ye Hanqiao), 鶏内 健太, 森田 雅也, 左 如氷 (Zuo Rubing), 足立 雄紀, 木下 諒星, 潟口 宗誠, 馬路 倫太郎, 武藤 広高
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
OS-103：超高精細電子ビームリソグラフィー装置
OS-117：EB蒸着装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
近年の情報通信容量の増大化に伴い電気伝送の限界という問題が生じている。そのため、 新たな情報通信デバイスが必要となっており、革新的な短距離光通信へ向けた半導体レーザの開発が求められている。
我々は2次元 フォトニック結晶 (2D PhC) 中に円形欠陥 (Circular Defeat in 2D PhC: CirD) 共振器を用いたCirDレーザ の研究開発を行っている 。
実験 / Experimental
高精細電子線リソグラフィー装置などを用いて光導波路を有するCirDレーザを作製し、その特性を評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
直交格子導波路(orthogonal lattice waveguide: OLW)は従来構造のW1導波路より波長帯域が広く、CirDレーザの光導波路としてより適していることがシミュレーションより判っている。そこで、OLWの帯域を実験的に調べた。実験結果を、https://doi.org/10.35848/1347-4065/acb57dに示す。要求仕様の20 nmの波長帯域を確認した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本研究の一部は、科研費 基盤研究（B）19H02198、および、ULVAC社との共同研究の成果である。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
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Rubing Zuo, Investigating wavelength bandwidth of orthogonal lattice waveguide for circular defect in two-dimensional photonic crystal (CirD) lasers, Japanese Journal of Applied Physics, 62, 022002(2023).
DOI: https://doi.org/10.35848/1347-4065/acb57d
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Yuki Adachi, Advanced dry etching of GaAs/AlGaAs multilayer wafer with InAs quantum dot for circular defect in photonic crystal laser, IEICE Electronics Express, 20, 20230054-20230054(2023).
DOI: https://doi.org/10.1587/elex.20.20230054
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 第70回応用物理学会春季学術講演 15p-PB05-3
- 第70回応用物理学会春季学術講演 15p-PB05-4
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件