【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.07.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22OS1029
利用課題名 / Title
高周波アンテナパターン形成ガラス基板の開発
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies
キーワード / Keywords
リソグラフィ/Lithography
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
藤原 正澄
所属名 / Affiliation
岡山大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
押味佳裕,榊原昇一
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
蛍光ナノダイヤモンドを用いた生体内温度計測は，光とマイクロ波を生体試料に照射し、窒素空孔中心の光検出磁気共鳴を読み取ることで可能になる。この操作を簡便かつ迅速に行うために、我々はこれまでアンテナ集積化培養ディッシュを開発してきた。さらに培養ディッシュ上でマイクロ波を広範囲に照射できる独自のアンテナ構造を考案した。このアンテナを作製するために、共同利用施設のリソグラフィ関連設備を利用した。
実験 / Experimental
金蒸着されたカバーガラスにレジストを塗布し，95℃で90秒間ベイキングを行う。その後、LED描画システムによって作製したフォトマスクを用いて、紫外線を18秒間照射してカバーガラス上にアンテナを現像する。最後にエッチング液で金薄膜およびクロム薄膜（バッファー層）を溶かすことでアンテナカバーガラスが完成する。アンテナとスプリットリング共振器アンテナおよびコプレーナ型アンテナを作製した。これらアンテナが付いたカバーガラスを用いて、自機関にある光学系およびマイクロ照射系を用いて測定を実施した。
結果と考察 / Results and Discussion
前述の方法で作製した培養ディッシュをネットワークアナライザを用いて，マイクロ波の反射特性と透過係数を測定した。高効率なマイクロ波入射特性を持ち、測定に適したアンテナを実現できた。コプレーナ型アンテナを用いて生体試料（細胞および線虫）を用いた光検出磁気共鳴測定にも成功した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件