【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.07.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22OS1024
利用課題名 / Title
近接場光学顕微鏡の金属探針開発
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/Electron microscopy,集束イオンビーム/Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
馬越 貴之
所属名 / Affiliation
大阪大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
木戸口 暖生,楊 惠詩
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
金属探針は、近接場光学顕微鏡の空間分解能や検出感度などを決定付ける極めて重要な要素である。本研究では、金属探針の作製・観察と光学特性評価を関連付けて、優れた金属探針作製法を確立する。
実験 / Experimental
真空蒸着法で探針表面に貴金属の薄膜を塗布することによって、探針を金属化した。作製した金属探針を当該装置を用いて観察し、構造を評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
探針表面に金のナノ構造が形成されていることが確認できた。しかしながら、形状を詳細に観察できるほど十分な分解能を得ることはできなかった。具体的には、10 nm程度の金のナノ構造は、形状を詳細に捉えることができなかった。ただし、どの程度の厚さの金属薄膜が塗布されているのかは、ナノレベルで観察可能であるため、一定の評価には利用可能であることが確認できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件