【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.07.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22OS1018
利用課題名 / Title
微細加工技術の援用による固体高分子形燃料電池に関する研究
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
スパッタリング/Sputtering
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
津島 将司
所属名 / Affiliation
大阪大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本課題では，固体高分子形燃料電池に用いる多孔質電極における生成物質（液水）の輸送挙動と発電特性の関係を明らかにするため，微細加工技術を応用したマイクロ流体デバイスの作製，評価を行った．
実験 / Experimental
【利用した主な装置】RFスパッタ製膜装置【実験方法】RFスパッタ製膜装置を用いて，あらかじめレジストのパターニングを施したシリコン基板上に金薄膜を形成した．研究室に持ち帰り，リフトオフにより金薄膜を除去，パターニングを行った．その後，ウェットエッチングによって溝形状を作製した．作製したチップを用いて固体高分子形燃料電池評価のためのマイクロ流体デバイスを構成した．
結果と考察 / Results and Discussion
当初のスパッタ成膜においては，想定した膜の接着力が得られず，リフトオフプロセスにおける剥離が多数生じた．前年度までの工程と同条件により実施していたが，前年度利用から今期の利用までに期間が空き，装置状態の変化の影響を受けたものと考えられる．その後，スパッタ条件を見直すことで，膜質は改善が見られ，所望の微細加工を施したチップが得られた．得られたチップを用いて構成した燃料電池セルを図に示す．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1. A fabricated micro fuel cell.
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本研究の一部はNEDO（JPNP20003）の助成を受けて行われました．機器利用にあたり，技術支援員の皆様から多大なご支援を賜りましたことに謝意を表します．
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件