【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.07.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22OS1005
利用課題名 / Title
ナノインプリントの成形試験
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
成形/Molding,コンポジット材料/ Composite material
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
中村 潤一
所属名 / Affiliation
株式会社日本触媒
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
石川知紀
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
昨年に引き続きのナノインプリント成型を実施する為に、大阪大学マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点の設備を利用し、ナノインプリントの成型試験を実施した。成型試験実施の結果、モールド基板のナノ形状を樹脂に転写する事が可能となった。
実験 / Experimental
【利用した主な装置】
ナノインプリント装置
【実験方法】
ナノ形状が付与されたモールド、樹脂塗布基板、ナノインプリント装置を用い、真空下で加熱しながらインプリント成型を行った。
（条件）
・モールド基板：100nm、1μm間隔のライン形状付与
・樹脂塗布基板：光硬化性樹脂
・加工条件：UV60W/cm2@360nm、圧力10Bar、成型時間60-120s
結果と考察 / Results and Discussion
インプリント成型を行い、モールドと同様のライン形状が樹脂塗布基板に形成された。樹脂塗布基板の表面観察、断面観察をFE-SEMで実施し、モールドの形状が樹脂塗布基板に転写された事を確認した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
なし
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件