【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT1165
利用課題名 / Title
高精度な中性子イメージングセンサーの開発
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
光学顕微鏡/Optical microscopy,蒸着・成膜/Evaporation and Deposition,IoTセンサ/ IoT sensor
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
神谷 好郎
所属名 / Affiliation
東京大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-711：LL式高密度汎用スパッタリング装置(2019)
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
数ミクロンの空間分解能を実現する中性子線用のイメージングセンサーの開発として、スパッタリング装置を用いた中性子-荷電粒子変換層の高度化を進めた。
実験 / Experimental
LL式高密度汎用スパッタリング装置を用い、成膜条件の異なった中性子用イメージングセンサーの試作を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
成膜したセンサーを実装する読出し基板へを設計/製造し、電子やγ/X線、アルファ線からの応答を確認するところまで進めることができた。成膜によるセンサーのダメージなどは確認されていない。また、目視による膜の劣化や剥れなども見受けられず、これまで得てきた知見/経験などと無矛盾な結果と言える。次年度に中性子照射施設での実験を予定し、その結果から膜の中性子に対する応答を分析する。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
成膜用治具の試験の様子
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 神谷好郎, "微視的スケールにおける等価原理の検証にむけて", Colloquium, Osaka Metropolitan University, 令和4年5月27日
- 神谷好郎, "Toward the Verification of the Equivalence Principle in the Quantum Regime", Seminar, The University of Tokyo, 令和4年6月27日
- 神谷好郎, "Testing Gravity with Quantum Bound Ultracold Neutrons", Seminar, Tokyo Institute of Technology, 令和4年7月1日
- Z. Wang, Y.Kamiya et al., "Quantum Gravity experimental initiative at the LANSCE UCN facility", 23nd International Conference on General Relativity and Gravity - GR23, 令和4年6月3-8日
- 三井慎吾, 神谷好郎, 西村龍太郎, 新井康夫, 村田次郎, 赤松翔映, "INTPIX4NA 検出器を用いた中性子イメージングセンサーの開発", 日本物理学会, 令和4年9月12-15日
- 神谷好郎, "Testing the equivalence principle using a gravitationally bound quantum system: with a short report of technological developments", 31th Workshop on General Relativity and Gravitation in Japan - JGRG25,令和4年10月24-28日
- 神谷好郎, "Measuring Time Developments of Gravitationally Bound Quantum States of UCN, toward an Understanding of the Equivalence Principle in the Quantum Regime - UCNQ", Seminar, Los Alamos National Laboratory, 令和4年12月21日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件