【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.29】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22UT1164

利用課題名 / Title

金ナノロッドペアの作製

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

EB

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

志村 努

所属名 / Affiliation

東京大学生産技術研究所

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-503：超高速大面積電子線描画装置
UT-855：高精細電子顕微鏡

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

数mm x 数mm領域に金ナノロッドのパターンを描画、作製した構造の評価をおこなった。金ナノロッドペアの周りの屈折率の変化によって、光の散乱の異方性に変化を生じることの実証を行うことが目的である。

実験 / Experimental

金ナノロッドペアにレーザー光を集光、照射し異方性散乱を観測するためのサンプルを作製した。2本のナノロッドのうち片方はレジストで覆われた状態とし、もう一方はむき出しの状態とした。各金ナノロッドのプラズモン共鳴の周波数は、金属に接している媒質の屈折率に依存して変化するため、散乱特性が屈折率に応じて変化することを確認した。

結果と考察 / Results and Discussion

SEM像、光学特性から判断して意図したものと近い構造作製ができていると考えられる。以前から使っているレシピを利用して作製を進め、そのレシピが有効であることが明らかになった。金ナノロッド周りの媒質の屈折率を変えて、異方性散乱の様子が変化することは観測できた。定量的な評価が今後の課題である。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件