【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.15】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT1105
利用課題名 / Title
微小メカニカル素子の評価
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
機械特性計測, 振動特性,MEMSデバイス/ MEMS device
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
別所 和樹
所属名 / Affiliation
東京大学工学部
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
米谷玲皇（東京大学大学院新領域創成科学研究科）
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
微小カンチレバーの機械振動特性の評価を行った。この評価では、機械特性評価装置（MSA-500）を使用した。
実験 / Experimental
Al, Siからなる微小カンチレバーの振動特性評価を、機械特性評価装置（MSA-500）を用いて行った。微小カンチレバーの幅はおよそ40 µmである。評価において、微小カンチレバーは、ピエゾ素子を組み作製した加振台を用いて加振した。計測条件は、大気下，室温での計測である。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. 1に微小カンチレバーの振動特性の計測結果の一例を示す。この結果から1次のモードで振動している様子がわかる。このように、先述した手法により微小カンチレバーの振動特性の評価を進めた。微小なメカニカル構造体の動特性の理解深化により、NEMS (Nanoelectromechanical systems)などをベースとしたセンサデバイス研究開発への展開が期待される。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 Vibration characteristics measurement of microcantilever
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件