利用報告書 / User's Report

【公開日:2023.07.31】【最終更新日:2023.05.19】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22UT1055

利用課題名 / Title

超解像イメージング評価用試料の作製と評価

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用(ARIM事業参画者以外)/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)計測・分析/Advanced Characterization(副 / Sub)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials(副 / Sub)-

キーワード / Keywords

生体イメージング、ラマン分光,リソグラフィ/Lithography,生体イメージング/ In vivo imaging


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

小関 泰之

所属名 / Affiliation

東京大学

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

水口高翔

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type

(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub)-


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-500:高速大面積電子線描画装置


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

生体試料中の多種の生体分子を高い空間分解能で観察する技術の開発を進めている。具体的には、分子振動の狭帯域性を活用することで多色イメージング能を実現するラマンイメージングにおいて、光スイッチング可能なラマンプローブを開発し、それを用いて生体の超解像イメージングを実現した。しかし、生体試料では空間分解能を見積もるのが難しく、実現可能な分解能が不明であった。本研究では、本イメージング方式の空間分解能を正確に見積るために、リソグラフィパターンを作成し、それを超解像計測することで空間分解能の見積もりを行った。

実験 / Experimental

電子線レジストに光スイッチングラマンプローブをドープし、カバーガラスにスピンコートしてベークした後にEB描画を行い、現像してパターンを作製した。

結果と考察 / Results and Discussion

レジスト境界を超解像ラマンイメージングし(Fig. 1B)、得られた強度パターンを誤差関数でフィッティングすることで空間分解能と信号強度を求めた(Fig. 1B)。空間分解能および信号強度のドーナツビーム強度依存性をそれぞれFig. 1C, Fig. 1Dに示す。ドーナツビーム強度を高めることで空間分解能が向上し、100 nm程度の空間分解能が得られることを確認できた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations


Fig. 1. 光スイッチングラマンプローブをドープしたEBレジストの超解像ラマン(REversible Saturated Optical Raman Transition)イメージング。(A) EBレジストパターン端のRESORT像。波長640 nmのドーナツビーム強度を変えながらイメージングを行った。視野:3.7 x 23 µm^2。ピクセル数:93 x 57。ピクセル積算時間: 250 µs。(B) (A)の強度パターンと誤差関数によるフィッティング結果。(C) 点像分布関数の半値全幅のドーナツビームパワー依存性。(D) 信号強度のドーナツビームパワー依存性。


その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)

J. Shou et al., "Super-resolution vibrational imaging based on photoswitchable Raman probe," Sci. Adv. in press.


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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