【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.26】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

22UT1020

利用課題名 / Title

臓器チップの研究開発

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

細胞培養デバイス,リソグラフィ/Lithography

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

梶 弘和

所属名 / Affiliation

東京医科歯科大学

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

梨本裕司,堀 武志,安藤 萌,土屋香碧,許 家誠,稲垣皓介,岩田美樹,佐藤優輝

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-504：光リソグラフィ装置MA-6

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

微細な流路をもった細胞培養デバイス（いわゆる細胞培養用のマイクロ流路デバイス, 臓器チップ）を作製するために、東京大学の設備を利用してフォトリソグラフィーを行い、デバイスの鋳型を作製した。

実験 / Experimental

ウエハをH₂O₂/H₂SO₄混合溶液で処理し、その後洗浄した。ウエハにSU-8 3050あるいはSU-8 2100をスピンコートした。その後、以下の加熱処理を行った。60℃ 1 min → 110℃ 50 min → 65℃ 1 min → 室温 >30 min。マスクアライナー MA6を使用して、SU-8があるウエハにフォトマスク上のパターンを転写した。その後、以下の加熱処理を行った。65℃ 1 min→95℃ 5 min→65℃ 1min→ 室温 >5 min。SU-8 developer （あるいはPMシンナー）で現像した後、イソプロパノールとエタノールで洗浄した。最後に加熱処理（たとえば150℃ 10 min）をして鋳型を完成させた。

結果と考察 / Results and Discussion

本方法により、ウエハ上に微細なSU-8パターンを形成させることができた。流路は、たとえば、流路幅1000ミクロン前後、流路高さ100-200ミクロン程度のものを作製することができた。 SU-8 developer （あるいはPMシンナー）による現像は、2度行うことにより、より綺麗な結果が得られることが分かった。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件