【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.31】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22AT0263
利用課題名 / Title
熱電材料の物性評価
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
未利用廃熱,熱電変換材料,ナノ構造熱電変換材料
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
村田 正行
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
青山 佳代,阿部 奈津子
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
未利用廃熱の有効活用を目指して，高効率熱電変換材料の開発に期待が寄せられている．中でもナノワイヤーなどのナノ構造熱電変換材料は，外部磁場の印加により熱電効果が大きくなることが予想されている．そこで本研究では，熱磁気効果が大きいことで知られるナノワイヤーの，作製及び評価と熱磁気効果の測定を進めている．FIB-SEMデュアルビーム装置を利用することで，ナノワイヤー上にナノスケール電極の作製する技術の開発を進めている1．
実験 / Experimental
【利用した主な装置】
・電子ビーム真空蒸着装置【NPF023】
・ダイシングソー【NPF054】
【実験方法】
試料設置用のセラミック基板を，ダイシングソーを利用して作製した．ブレードはB１A８０１（石英、ガラス、サファイア用）を使用した．
結果と考察 / Results and Discussion
ナノワイヤーの電気抵抗を測定するために，ナノワイヤーの側面を覆っている石英ガラスを研磨により除去し，石英ガラスの研磨面に真空蒸着法により金属薄膜を蒸着した．FIB-SEM加工によりナノワイヤー側面への局所的な電極を作製し，表面の金属薄膜とナノワイヤーを金属デポにより電気的の導通させ，Fig.1に示した通り上面の金属薄膜は電気測定のために分割した．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1: Setup for measurement of the electrical resistance on a bismuth nanowire.
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
・参考文献
1M.Murata, A.Yamamoto, Y.Hasegawa, T.Komine, Nano Letters, Vol.17, p.110 (2017).
2M.Murata, A.Yamamoto,Y.Hasegawa, T.Komine, Journal of Electronic Materials, Vol.46,p.2782 (2017)
・本研究の一部は，NEDO「エネルギー・環境新技術先導プログラム／未踏チャレンジ２０５０／磁気－熱－電気間相互作用の体系的解明と新原理デバイスの開発」の支援を受けて実施された．
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件