【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22AT0340
利用課題名 / Title
ポリマー導波路の端面の平滑性の向上
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ポリマー光導波路,光インターコネクション,端面の平滑性,
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
岡田 祐季
所属名 / Affiliation
東京都市大学 大学院
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
日々増加し続けているトラフィック量に対応するために高速化と低消費電力化を両立した通信技術の開発が現在望まれている。高速化と低消費電力化を実現するために短距離間での大容量光通信技術の開発が現在注目されている。そこで光インターコネクションの実用化に向けて光導波路と他の光学部品との高効率での接続技術を確立する必要がある。
実験 / Experimental
【NPF054】ダイシングソー
【NPF060】短波長レーザー顕微鏡[VK-9700]
条件を変えて、端面出しを行ったポリマー光導波路の端面を、短波長レーザー顕微鏡で粗さ測定を行い、端面出しの最適な条件を求める。
結果と考察 / Results and Discussion
ブレードの回転数を20000,30000,40000rpmと変化させコア部の粗さを測定した。測定の際には、解析ソフトの正方形ツールでコア内部に2×2µmと3×3µmの正方形を作り、その範囲内の粗さを測定した。測定結果をFig.1に示す。
最も粗さが小さいのは30000rpmであった。
次に、cut speedを0.4、0.5、0.6、0.7mm/secと変化させコア部の粗さを測定した。測定結果をFig.2に示す。
最も粗さが小さいのは0.6mm/secであった。
Fig.1,2から3×3µm よりも2×2µmの粗さの方が小さい傾向が確認された。ここから、コアの中心部よりも、クラッド層に近い部分のほうが粗さが大きいことが考えられる。これは、コア内部においても硬度が異なっているために、ダイシングでの端面出しの際に、粗さが異なったと考えられる。
以上の結果から端面出しの最適な条件は30000rpm,cut speed 0.6mm/secであると考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 Variation of roughness with rpm
Fig.2 Variation of roughness with cut speed
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 岡田祐季,板谷太郎,岡野好伸,天野建, "ポリマー光導波路のダイシングによる端面出しに関する平滑性の評価", 第30回電気学会東京支部茨城支所研究発表会（日立）, 2022/12/17
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件